这就是整个工艺流程,而其中的细节,便决定了良品率和生产效率。
“我们在提纯上仍然还有些问题,另外就是关键的抛光了,我们的超精密抛光机器都是进口日本的,而且不是那种最先进的,最先进的他们不给我们卖,所以别人抛光比我们快了三、四倍。”
“基本上就这两个关键问题。”
“我们的问题主要出现在……”
随着余建成讲述着他们的关键问题,他们也从一开始的提炼间走到了熔炼间,在熔炼车间中,硅棒就生产了出来,一个15米长,12英寸规格的大棒。
因为硅是一种半金属,所以其色泽也和金属一样,只不过颜色偏灰一点。
直到最后,他们来到了最后的抛光机前。
“就是这了,也是咱们最关键的问题,想要将硅晶圆加工到咱们想要的精度,咱们的抛光磨盘不够先进,就只能多磨一会儿,但是又要担心磨盘磨久了发生热膨胀,让精度变得更差。”
余建成说道。
林晓问道:“你们抛光液是传统的二氧化硅胶体吗?”
“是的。”
余建成点点头。
“我知道了。”
林晓不再多说。
“罗明,回酒店吧。”
“好。”
罗明立马应道。
“余总,在我的研究还没有开始之前,这条生产线你们也还是可以用,生产出来的晶圆就交给你们公司进行代售了,不过等我要正式用到之后,这条生产线就要停止了。”
“好的。”
余建成点点头。
不过,相比起他们直接损失的一条生产线,这点产量还是只能聊以自慰了。
于是他还是说道:“林教授,还是希望您能够成功了,如果您真的成功了,哪怕我们把一半生产线都给你也完全没问题。”
林晓笑了笑,说道:“你等着好消息就行了。”
他要是成功了,产量直接提高三、四倍,就算是生产线给了他一半,上硅产业的产量照样能够提高两倍。
当然,一切就看最终的结果了。
而后,林晓便和罗明离开了工厂,当然,带走的还有一个u盘,里面有着上硅产业12英寸硅晶圆生产工艺的所有资料。
光是来这里看一看显然是还不够的,完善的资料同样也不能缺少。
回到了酒店,林晓说道:“那就明天回上京吧。”
“好。”罗明点点头,又忍不住问道:“那,林教授,你对硅晶圆有什么想法了吗?”
林晓笑道:“这是一个还需要更多思考的问题,你现在就问,我可没有什么能够回答你的。”
“哦,好吧。”
罗明只好点头。
林晓摆摆手,返回了自己的房间。
回想今天所得到的信息,首先是提纯问题。
如果说抛光问题是硬件问题的话,提纯问题就是软件问题。
道理行业内大家都懂,沙子也就是二氧化硅,让它和碳反应,得到硅锭,然后硅锭和盐酸反应生成高纯度的三氯氢硅,之后就是通电析出多晶硅。
在这个过程中就考验工艺是如何避免杂质的。
对于这一点,林晓可以发挥良好的“拿来”主义,通过现物索取,他已经知道了日本那边的一家硅晶圆厂是如何进行提纯的。
那家日本硅晶圆厂算是最好的一家,他们的提纯方法还是很不错的。
当然,照抄不是林晓的性格,经过这么多月的思考,他已经想出了一个更好的方案,提纯速度大概还能提升个10左右。
不过,抛光这个硬件问题,“拿来”主义就发挥不了了,毕竟人家日本本土企业,想要买顶级抛光机当然不是问题。
“所以我现在有两个方向。”
“第一,研发一种新的磨盘材料,第二,研发一种新的抛光液。”
抛光精度,考验的就是材料问题,同时磨盘和抛光液二者不可缺一。
比如磨盘材料的热膨胀系数就必须精确,如果磨盘材料因为摩擦发热膨胀,显然会对最后的抛光精度造成影响。
而抛光液则既是给磨盘散热,也是利用内部的抛光粉小颗粒和材料表面那些以纳米为单位的突起进行打磨,毕竟最终的芯片就是在以纳米为单位的制程上进行雕刻的。
林晓经过了短暂的思考后,最后做出了选择:“两手都要抓,两手都要硬。”
尤其是抛光工艺不仅仅只是用于硅晶圆打磨上,以后光刻机的光学透镜,同样需要对抛光工艺进行革新。
过去在媒体的吹嘘下,碳基芯片似乎成为了一个华国在芯片领域能够实现弯道超车的新领域,但显然,光是抛光工艺这个门槛,就足以继续让华国别想着去搞碳基芯片了。